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    旋轉噴淋清洗介紹與用圖




    旋轉噴淋清洗是浸入式清洗的一種變體。該系統普通包括自動配液系統、清洗腔體和廢液回收系統。噴淋清洗在密閉的工作室內完成化學清洗、去離子水清洗、

    旋轉自旋枯燥等工序,減少了清洗過程中每一步人為要素的影響。在噴淋清洗中,由于旋轉和噴淋的作用,硅片外表的溶液愈加平均,硅片外表的溶液總是新

    穎的。經過工藝時間的設定,能夠準確控制硅片的清洗和腐蝕效果,到達良好的分歧性。密閉的工作室內能夠隔離化學溶液的揮發,減少溶液的損失,減少溶

    液蒸汽對人體和環境的危害。該系統被貯存在不同的化學試劑中,并在運用時抵達噴嘴行進行混合,堅持其新穎,以更大限度地進步其在清洗過程中更快反響

    時間的潛力。當氮氣被運用時,液體經過一個小噴嘴放射到硅片外表構成一層細霧,以到達更好的清洗目的。該辦法適用于去除氧化膜或有機物。由于化學物

    質停留在硅片外表的時間較短,在一定時間內清洗反響是不好的。噴涂過程中化學試劑用量少,有利于本錢控制和環境維護。




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